振动测量传感器
半导体和液晶制造工艺变得越来越小型化，现场振动环境的保存已成为一个重要因素。通过了解制造现场的振动环境，可以为设备和制造设备设计适当的隔振设计，从而可以降低总成本
半导体和液晶制造工艺变得越来越小型化，现场振动环境的保存已成为一个重要因素。通过了解制造现场的振动环境，可以为设备和制造设备设计适当的隔振设计，从而可以降低总成本。
还有一个振动监测系统VMS。
规格
特征
宽动态范围，每个通道具有独立的 ΔΣ 型 24 位 AD 转换器
伺服型加速度传感器可实现10Hz以下的高精度测量
设备连接方面，采用耐用且易于连接的USB接口，方便现场使用。
可以使用三方图1/3倍频程图等实时监控测量数据。
兼容3种电源：AC100-240VDC和NI-MH充电电池，考虑各种使用环境。
规格
| 传感器 | 伺服式加速度传感器0.5 - 200Hz |
|---|---|
| 测量范围 | ±0.001加仑至±1000加仑 |
| 外形尺寸 | 250宽×450深×160高 厘米 |
| 电源 | 交流100~240V |
| 采样 |
256Hz，0.5~2秒（200Hz时） 512Hz，1~4秒（100Hz时） |
| 计算时间 |
32~300 秒（200Hz 时） 32~600 秒（100Hz 时） |
| 快速傅里叶变换点 |
2048 点（频谱） 8192 点（1/3 Oct.Band） |